| Titre : |
La nanolithographie |
| Type de document : |
texte imprimé |
| Auteurs : |
Stefan Landis, Directeur de publication, rédacteur en chef |
| Editeur : |
Paris : Hermès science publications-Lavoisier |
| Année de publication : |
2010 |
| Collection : |
Traité EGEM |
| Sous-collection : |
Electronique et micro-électronique |
| Importance : |
351 p |
| Présentation : |
ill. |
| Format : |
24 cm |
| ISBN/ISSN/EAN : |
978-2-7462-2446-9 |
| Note générale : |
Notes bibliogr. Index |
| Langues : |
Français (fre) |
| Mots-clés : |
Lithographie par rayons X |
| Résumé : |
Alors que le nano-monde s'ouvre à nous, les chercheurs ont disposés ces dernières années d'un magnifique terrain de jeu pour mettre au point de nouvelles technologies destinées à façonner cet espace des nanos. Au delà des défis scientifiques quelles représentent, elles apparaissent comme indispensables pour transposer la miniaturisation opérée pour la micro-électronique dans d'autres champs applicatifs, laissant entrevoir l'émergence de nouvelles fonctionnalités.
Bien plus qu'un recueil d'articles, cet ouvrage sur La nanolithographie, aborde aussi bien les principes physiques que les enjeux techniques et scientifiques de ces principales approches alternatives de nanolithographie. Destinés aux ingénieurs et chercheurs novices, La nanolithographie, permettra également aux lecteurs plus expérimentés de parfaire leurs connaissances sur des technologies ayant un potentiel bien plus vaste que l'expérience de laboratoire. |
La nanolithographie [texte imprimé] / Stefan Landis, Directeur de publication, rédacteur en chef . - Paris : Hermès science publications-Lavoisier, 2010 . - 351 p : ill. ; 24 cm. - ( Traité EGEM. Electronique et micro-électronique) . ISBN : 978-2-7462-2446-9 Notes bibliogr. Index Langues : Français ( fre)
| Mots-clés : |
Lithographie par rayons X |
| Résumé : |
Alors que le nano-monde s'ouvre à nous, les chercheurs ont disposés ces dernières années d'un magnifique terrain de jeu pour mettre au point de nouvelles technologies destinées à façonner cet espace des nanos. Au delà des défis scientifiques quelles représentent, elles apparaissent comme indispensables pour transposer la miniaturisation opérée pour la micro-électronique dans d'autres champs applicatifs, laissant entrevoir l'émergence de nouvelles fonctionnalités.
Bien plus qu'un recueil d'articles, cet ouvrage sur La nanolithographie, aborde aussi bien les principes physiques que les enjeux techniques et scientifiques de ces principales approches alternatives de nanolithographie. Destinés aux ingénieurs et chercheurs novices, La nanolithographie, permettra également aux lecteurs plus expérimentés de parfaire leurs connaissances sur des technologies ayant un potentiel bien plus vaste que l'expérience de laboratoire. |
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La nanolithographie
